Ионный источник вольфрамовых и молибденовых частей
Ионизационный источник ионов - это нейтральные атомы или молекулы, а также к извлечению устройства ионного пучка. Это различные виды ионного ускорителя, масс-спектрометра, электромагнитного изотопного сепаратора, ионного имплантата, устройство для травления ионного пучка, ионно-стрижки ионного подраска и устройства с контролируемым фьюзазом в устройстве для инжектора нейтрального луча, такого как незаменимые компоненты.