Ультра-высокая чистота вольфрамовый металлический распыляющий мишень

За последние пять лет уровень взноса научно-технического прогресса в Китае в ВВП в ВВП увеличился с 52,2% в 2012 году до 57,5%, а глобальный рейтинг национального инновационного потенциала возросла с 20 до 17. Механизмы, таланты и финансы, такие как мелкоплетенные нейронные сети и кровеносные сосуды, продолжают питать стальные батончики Китая и кости. Это еще одно важное устройство для изготовления тяжелого оборудования Китая - уникальная плодородная почва для системы Китая, которая собирается вместе продолжительностью, глубочайшие инновации.

Голубой кит, небесный глаз, большой самолет, отечественный авианосцы, один из самых мощных устройств в мире, заставил людей гордиться и высоко оценил мир. За этими всемирно известными достижениями оба отражают уникальные преимущества усилий Китая для сосредоточения на основных вопросах. В отчете CCTV также конкретно упомянул тяжелое устройство, используемое для изготовления крупномасштабных интегрированных цепей: ультра-высокой чистоты мишени распыления металлов.

Ультра-высокая чистота Metal Puttering Target - это необходимое оборудование для производства чипов. Он в основном используется для изготовления 300 мм ультракольно-крупных интегральных цепь. Его чистота материалов должна быть более 99,999%. Это также включает в себя применение вольфрама. Ввиду этого Xiaobian торжественно рассказывает нам о сегодняшнем главном героце, вольфрамовой цели.

Распыление является одним из основных технологий для приготовления тонкопленочных материалов в Международном магистральном производстве крупномасштабной комплексной цепи. Это бомбардирует цель с высокоскоростными движущимися ионами, а генерируемые атомы испускаются, чтобы накапливаться на поверхности подложки для образования покрытия и бомбардируются. Твердый металл представляет собой сырье для осаждения тонкой пленки методом распыления и называется распыляющей целью. Цели на распыление являются необходимым сырьевым для производства VLSI. Ранее только несколько многонациональных компаний в Японии и Соединенные Штаты смогли их изготовить. В результате наша крупномасштабная комплексная технологическая цепь всегда была невидима для развитых стран. Барьерная блокада.

Редкий вольфрам широко использовался в области распыления осаждения полупроводниковых комплексных цепей, солнечной фотоэлектрической кишки и т. Д. Из-за его преимуществ, таких как высокая температура плавления, высокая прочность, коэффициент низкого теплового расширения, низкое сопротивление и хорошая термостабильность. Цели вольфрама используются в основном в полупроводниковом поле в качестве диффузионных барьеров для интегральных схем и электродов памяти для крупных интегральных цепей.

Полупроводниковые интегральные схемы имеют высокие требования к чистоте цели. Как правило, чистота цели должна быть выше 99,999%. В то же время компактность целевого материала также имеет важное влияние на процесс покрытия и производительность слоя пленки. Компактность целевого материала не только влияет на скорость осаждения при распылении, плотности частиц распыления пленки и феноменона разряда, но также влияет на распыление. Пленочные электрические и оптические свойства. Безценша цель, тем ниже плотность распыленных частиц пленки, тем слабее феномена разряда, а тем лучше производительность тонкой пленки. Соответственно, температура плавления вольфрама высока, и мы принимаем традиционный порошковый метод металлургии. Хотя готовый продукт может быть уволен, качество и производительность не стабильны, и трудно уволить большую вольфрамовую цель.

Поскольку чип-индустрия является командной точкой высоких технологий, это важное стратегическое поле. Цель также является необходимым оборудованием для производства чипов. С быстрым развитием полупроводниковых технологий степень интеграции становится выше и выше, а единственный интегратор Crystal Cyslicon Chip является на единицу площади. Количество частей выросло в экспоненциально, и размер основных кремниевых вафлей постепенно вырос от 12 дюймов (300 мм) до 18 дюймов (450 мм). Следовательно, как изготовление большего размера и высококачественных целей вольфрама стало горячим точком для плавки вольфрамовых продуктов.

В последние годы, под вдохновением талантов стран, таких как программа \"тысяч талантов \" и \"миллионы людей, планируют \", группа отличных команд вернулась в Китай, чтобы начать свои собственные предприятия и были поддержаны Основными национальными науками и технологическими проектами, такими как \"863 \" и \"02 специальных проектов \". После преодоления монополии и блокады между Японией и Соединенными Штатами, после 12 лет трудного новарирования, она создала производственную базу на основе полного спектра оборудования в области внутренней промышленности и имеет полную независимую интеллектуальную собственность. Есть таланты, средства и поддержка из национальной политики. В этой среде технологии высоко чистоты в Китае технология рафинирования металла также достигли быстрой разработки. Инновации в НИОКР привели во многих патентах с независимыми правами собственности. Китайские компании уже могут использовать их. Его собственный продвинутый производственный процесс производит вольфрамовые целевые продукты не меньше, чем в Японии-американских компаниях, и многие производственные базы, такие как вольфрамовый гексафторид и другие специальные газы, постепенно вкладываются в производство. Новая промышленная цепочка превращается в производство в Китае. Изменить некоторые из прошлых высокотехнологичных материалов могут полагаться только на импорт.

В настоящее время Китай построил крупнейшую в мире интегральную целевую целевую производственную линию. Большинство вспомогательных отраслей промышленности были в основном завершены, и в объеме было выпущено полный ассортимент продукции, снабжая более 280 заводов для производства чипов по всему миру. Производство ультра-чистых металлических напыщенных мишени имеет примесный элемент содержания менее одного из 100 000. Он используется в ведущих в мире 10-28-нанометровой технологии очень крупномасштабной интегрированной микросхемы. В сезоне урожая Huawei удалось разработать и с производством китайско-продвинутых и продвинутых смартфонов, зигуан может создавать чипсы памяти DDR4, которые нарушают технологическую олигополистическую монополистику в мире. Ни одна страна не осмеливается презирать позицию Китая в крупномасштабной интегральной цепи.