Способ улучшения скорости утилизации целевой целевой цели молибдена

Целью распыления молибдена, то есть цели молибдена, обычно образованы спекание молибден порошком. Целью распыления молибдена могут образовывать тонкие пленки на различных подложках, а такие пленки распыления широко используются в качестве электронных компонентов и электронных продуктов. С помощью быстрого развития плоской панели дисплей и фотоэлектрической промышленности спрос на целевые показатели напыления молибдена увеличивается.

1) В электронном индустрии мишени распыления молибдена в основном используются в электродах и электропроводках для плоских дисплеев, тонкопленочных солнечных элементов и барьерных материалов для полупроводников.
2) На дисплее с плоской панелью отображается один из основных рыночных применений напыщенных целей молибдена, находится в поле TFT-LCD.
3) В новой энергетической промышленности применение мишени напыления молибдена в тонкопленочных солнечных фотоэлектрических клетках также увеличивается. Молибденовые напыщенные цели формируют CIGS (медный индийский селенид галлия) тонкопленочные аккумуляторные слои аккумулятора путем распыления.

Цель распыления молибдена может образовывать тонкую пленку на различных типах оборудования. Этот распыленный фильм широко используется в качестве электронных компонентов и электронных продуктов, таких как широко используемый TFT-LCD TFT-LCD (тонкопленочный трансцировочный жидкокристаллический дисплей, тонкопленочный полупроводниковый ЖК-дисплей), плазменный дисплей, тонкая пленка солнечная ячейка, датчик, датчик, Полупроводниковое устройство и т. Д. Исследования показали, что ЖК-дисплей будет продолжать быстро развиваться в ближайшие несколько лет. Перспективы рынка для целей напыления молибдена очень широки. Спрос на распыление молибдена будет продолжать увеличиваться, а скорость утилизации целей напыления молибдена повысила более высокие требования.
Существует два способа улучшить скорость утилизации целей напыления молибдена:
1. Пореалируйте замену оборудования для распыления
В процессе распыления целевых материалов напыления молибдена целевые атомы попадают на ионы водорода, примерно на одну шестую часть атомов распыления будет нанесено на внутреннюю стенку вакуумной камеры или кронштейна, увеличивая стоимость очистки вакуумного оборудования и простоя Отказ Следовательно, ключ к улучшению скорости утилизации целевого материала является реализация замены оборудования для распыления.
2. Трубчатые вращающиеся цели вместо плоских целей
По сравнению с плоской целью конструкция трубчатой ​​вращающейся целевой структуры показывает свои существенные преимущества. В конструкции геометрической структуры скорость утилизации может быть увеличена с 30% до 50% плоской цели до> 80% вращающейся цели. Более того, поскольку вращающаяся цель непрерывно вращается во время процесса распыления, на его поверхности не происходит никакого изменения осаждения.