Характерные требования мишени распыления молибдена

В электронике промышленности мишени распыления молибдена широко используются на плоских дисплеях, электродах и тонкопленочных солнечных клетках, основанных на высокой температуре плавления молибдена, высокой проводимости, низким специфическим импедансом, хорошей коррозионной стойкостью и хорошей экологической производительностью. Проводные материалы и полупроводниковые барьерные материалы. Целью распыления молибдена делятся на два типа в соответствии с их формыми, одна плоская пластина, а другая - трубчатая вращающаяся цель. Чтобы повысить эффективность распыления и обеспечить качество нанесенного пленки, характеристики мишени напыления молибдена имеют следующие требования.

1) Чистота

Высокая чистота является основным характеристическим требованием для целей напыления молибдена. Чем выше чистота целевой молибдена, тем лучше производительность пленки распыления. Как правило, чистота целевого распыления молибдена должна быть не менее 99,95%.

2) плотность

Во время процесса покрытия распыления, когда менее глубокая плотная распыляющая цель бомбардируется, газ в пустотах внутри цели внезапно выделяется, вызывая масштабные частицы целевых частиц или частиц к выплеску, или пленка образуется после формирования пленки. Частицы всплеск из-за вторичной бомбардировки электронов. Появление этих частиц уменьшит качество пленки. Следовательно, целевая цель распыления обычно требуется, чтобы иметь более высокую плотность, уменьшить отрыв в целевой твердой и повысить производительность пленки. Для целей напыления молибдена относительная плотность должна быть более 98%.

3) Размер зерна и распределение размера

Целью распыления молибдена имеет поликристаллическую структуру, а размер кристаллического зерна может быть на порядке микрометров до миллиметров. Скорость распыления мелкозернистой цели быстрее, чем у крупной мишени; Хотя цель с меньшим разницей в размере хрусталя зерна имеет более равномерное распределение толщины осажденной пленки.

4) Кристаллическая ориентация

Во время распыления целевые атомы легко распыляются вдоль наиболее плотно расположенных направлений гексагональных атомов. Следовательно, для достижения максимальной скорости распыления скорость распыления часто увеличивается путем изменения кристаллической структуры цели.

5) Привязка целевого материала и шасси

Как правило, целевая цель напыления молибдена должна быть связана с корпусом без кислорода меди (или алюминиями и другими материалами) перед распылением, так что цель и шасси находятся в хорошей тепловой и электрической проводимости во время процесса распыления. После связывания он должен быть ультразвуковой проверкой, чтобы обеспечить, чтобы неблагоприятную область из двух менее 2%, чтобы удовлетворить требования высокой мощности распыления и не падают.